由于耐腐蚀离心泵叶轮入口处压力低于工作水温下的饱和压力,因而引起一部分液体蒸发(汽化)。蒸发之后的汽泡进入压力比高地方的时候汽泡受压会破裂,破裂之后产生强烈的冲击去打向叶轮或着是泵壳。这种连续的局部冲击负荷逐渐的引起金属的表面疲劳直到剥蚀,进而出现了大小不一样的蜂窝状蚀洞。这种液体汽化和汽泡产生以及汽泡破裂的过程中所引起的一系列现象就叫做“汽蚀”。
耐腐蚀离心泵会发生汽蚀是因为介质进入泵体的入口附近有一些局部的低压区,这个地方的压力会降低介质的一个饱和蒸汽压,导致有一小部分的介质会被汽化,因此可使离心泵的入口处的局部压力降低到介质汽化压力之下的因素都是引发耐腐蚀离心泵汽蚀的主要的一个诱因。